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在氫氣放完後即進行充氫程序，當使用高壓鋼瓶氫氣源時，其壓力達 14.5 MPa，故應在高壓鋼瓶出口端安裝減壓閥，使用銅管或不鏽鋼管與機體閥門對接。
先緊固減壓閥連接端的接頭，再開啟高壓鋼瓶閥門及減壓閥以吹洗管路中之空氣，而後再緊固機體閥門端接頭，調整減壓閥出口端壓力至充氫壓力(3.5MPa)。
此時開啟機體閥門進行充氫程序，充氫初期因機體溫度低，充氫速度較快，待儲氫罐明顯昇溫，充氫速度將逐漸減緩。
當充氫達飽和狀態，此時關閉高壓鋼瓶閥門待1～2分鐘後壓力錶指數應無明顯下降，且儲氫罐外壁溫度應與環境無異，如果壓力錶指數持續下降，即表示系統未達飽和狀態，則充氫程序應持續。
充氫飽和後，先行關閉機體閥門，再行關閉高壓鋼瓶閥門，然後卸下連接管，即完成充氫程序。
將機體置於冷水中或強制空氣對流的方式，可縮短充氫時間，但閥門及聯接裝置不可浸入水中。
如系統於設計高於0.7MPa以上壓力操作使用，建議於10℃以下之冰水浴中進行充氫程序，同樣的閥門及聯接裝置不可浸入水中。

充氫程序完成後，因儲氫罐內自由空間仍保持充氫時壓力(3.5MPa)，所以在連接任何用氫裝置使用前應釋放少許的氫量(約總儲氫量之～5%)，以降低壓力至用氫裝置之適用範圍(≦1 MPa)。這個步驟僅需幾秒鐘，同時也可將自由空間所聚集之不純物釋放出來，而使得所儲存之氫氣純度增加。